Klasifikace
Klasifikace of microsensors:
Podle toho, zda je k dispozici dodávka energie, lze jej rozdělit na aktivní mikrosenzory (například piezoelektrické) a pasivní mikrosenzory (například fluorescenční)
Podle různých objektů, které mohou mikrosenzory měřit, je lze rozdělit do následujících devíti kategorií:
Mechanické mikrosenzory: mikrosenzory používané k měření síly, deformace, posuvu a rychlosti.
Elektrické mikrosenzory: mikrosenzory používané k měření proudu, potenciálu, odporu a kapacity.
Magnetický mikrosenzor: mikrosenzor používaný k měření velikosti magnetického pole, polarity magnetického pole, magnetického toku a permeability.
Tepelný mikrosenzor: mikrosenzor používaný k měření teploty, měrné tepelné kapacity, tepelné vodivosti a tepelné kapacity.
Akustický mikrosenzor: Mikrosenzor používaný pro měření amplitudy, fáze, polarizace a zvukového spektra.
Optický mikrosenzor: mikrosenzor používaný pro měření spektra, rychlosti vlny, amplitudy a fáze.
Mikrosnímač záření: mikrosenzor pro měření rentgenového, ultrafialového, mikrovlnného a rádiového záření.
Chemický mikrosenzor: Mikrosenzor používaný k měření složení, koncentrace, vlhkosti a hodnoty pH.
Biologické mikrosenzory: mikrosenzory pro měření hormonů, antigenů, cukrů a biomasy.
