Luokittelu
Luokittelu of microsensors:
Sen mukaan, onko energiaa saatavilla, se voidaan jakaa aktiivisiin mikrosensoreihin (esimerkiksi: pietsosähköinen ) ja passiivisiin mikrosensoreihin (esimerkiksi: fluoresenssi)
Mikrosensorien mittaamien eri kohteiden mukaan ne voidaan jakaa seuraaviin yhdeksään luokkaan:
Mekaaniset mikroanturit: mikroanturit, joita käytetään mittaamaan voimaa, muodonmuutosta, siirtymää ja nopeutta.
Sähköiset mikroanturit: mikroanturit, joita käytetään mittaamaan virtaa, potentiaalia, vastusta ja kapasitanssia.
Magneettinen mikrosensori: mikro-anturi, jota käytetään mittaamaan magneettikentän kokoa, magneettikentän napaisuutta, magneettivuoa ja läpäisevyyttä.
Terminen mikroanturi: mikroanturi, jota käytetään mittaamaan lämpötilaa, ominaislämpökapasiteettia, lämmönjohtavuutta ja lämpökapasiteettia.
Akustinen mikrosensori: Mikro-anturi, jota käytetään mittaamaan amplitudia, vaihetta, polarisaatiota ja äänispektriä.
Optinen mikroanturi: mikro-anturi, jota käytetään spektrin, aallonnopeuden, amplitudin ja vaiheen mittaamiseen.
Säteilymikro-anturi: mikro-anturi röntgen-, ultravioletti-, mikro- ja radioaaltojen mittaukseen.
Kemiallinen mikroanturi: Mikrosensori, jota käytetään mittaamaan koostumusta, pitoisuutta, kosteutta ja pH-arvoa.
Biologiset mikrosensorit: mikrosensorit hormonien, antigeenien, sokerin ja biomassan mittaamiseen.
