Класификация
Класификация of microsensors:
Според това дали има захранване с енергия, тя може да бъде разделена на активни микросензори (например: пиезоелектрични) и пасивни микросензори (например: флуоресценция)
Според различните обекти, които микросензорите могат да измерват, те могат да бъдат разделени на следните девет категории:
Механични микросензори: микросензори, използвани за измерване на сила, деформация, преместване и скорост.
Електрически микросензори: микросензори, използвани за измерване на ток, потенциал, съпротивление и капацитет.
Магнитен микросензор: микросензор, използван за измерване на размера на магнитното поле, полярността на магнитното поле, магнитния поток и пропускливостта.
Термичен микросензор: микросензор, използван за измерване на температура, специфичен топлинен капацитет, топлопроводимост и топлинен капацитет.
Акустичен микросензор: Микросензор, използван за измерване на амплитуда, фаза, поляризация и звуков спектър.
Оптичен микросензор: микросензор, използван за измерване на спектър, скорост на вълната, амплитуда и фаза.
Радиационен микросензор: микросензор за рентгенови, ултравиолетови, микровълнови и радиовълнови измервания.
Химически микросензор: Микросензор, използван за измерване на състав, концентрация, влажност и pH стойност.
Биологични микросензори: микросензори за измерване на хормони, антигени, захар и биомаса.
